
貝肯智能科技(蘇州)有限公司
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產(chǎn)品名稱: 半導(dǎo)體檢查金相顯微鏡
發(fā)布日期: 2018-01-05
點(diǎn)擊數(shù): 1006
二維碼:
簡(jiǎn)述: 8寸晶圓檢查顯微鏡BKN-7R,硅片檢測(cè)顯微鏡,太陽(yáng)能電磁片檢查顯微鏡,液晶檢查相機(jī),手機(jī)玻璃檢查顯微鏡,ITO檢查顯微鏡8寸晶圓檢查顯微鏡BKN-7R
▲ 配置大視野目鏡和長(zhǎng)距平場(chǎng)消色差物鏡(無蓋玻片),視場(chǎng)大而清晰
▲ 配置大移動(dòng)范圍的載物臺(tái),移動(dòng)范圍:8"×8"(204mm×204mm)
▲ 粗微動(dòng)同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu),粗動(dòng)松緊可調(diào),帶限位鎖緊裝置,微動(dòng)格值:0.8μm
▲ 6V 30W鹵素?zé)?亮度可調(diào)
▲ 三目鏡筒,可自由切換正常觀察/偏光觀察,明視場(chǎng)/暗視場(chǎng)觀察. 可進(jìn)行100%透光攝影
技術(shù)規(guī)格
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目鏡 | 大視野 WF10X(視場(chǎng)數(shù)Φ22mm) | ||
無限遠(yuǎn)平場(chǎng)消色差物鏡 |
BKN-7R
(配明場(chǎng)物鏡)
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PL L5X/0.12 工作距離:26.1 mm | |
PL L10X/0.25 工作距離:20.2 mm | |||
PL L20X/0.40 工作距離:8.80 mm | |||
PL L50X/0.70 工作距離:3.68 mm | |||
PL L80X/0.80 工作距離:1.25 mm | |||
BKN-7RBD
(配明/暗場(chǎng)物鏡)
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PL L5X/0.12 BD 工作距離:9.70 mm | ||
PL L10X/0.25 BD 工作距離:9.30 mm | |||
PL L20X/0.40 BD 工作距離:7.23mm | |||
PL L50X/0.70 BD 工作距離:2.50 mm | |||
PL L80X/0.80 BD 工作距離:1.25 mm | |||
目鏡筒 | 三目鏡30?傾斜, 可100%通光攝影 | ||
落射照明系統(tǒng) | BKN-7R | 6V30W鹵素?zé)?,亮度可調(diào) | |
BKN-7RBD | 12V50W鹵素?zé)?,亮度可調(diào) | ||
內(nèi)置視場(chǎng)光欄、孔徑光欄、(黃、藍(lán)、綠、磨砂玻璃)濾色片轉(zhuǎn)換裝置,推拉式檢偏器與起偏器 | |||
調(diào)焦機(jī)構(gòu) | 粗微動(dòng)同軸調(diào)焦,帶鎖緊和限位裝置,微動(dòng)格值:0.7μm | ||
轉(zhuǎn)換器 | 五孔(內(nèi)向式滾珠內(nèi)定位) | ||
載物臺(tái) | 8寸機(jī)械式載物臺(tái),外形尺寸:280mmX270mm,移動(dòng)范圍:橫向(X)204mm,縱向(Y)204mm |
名稱 | 類別/技術(shù)參數(shù) |
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目鏡 | 分劃 10X(Φ22mm),格值0.1mm/格 |
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物鏡 | PL L40X/0.60 工作距離:3.98 |
明視場(chǎng)
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PL L60X/0.7 工作距離3.18mm |
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PL L100X(干式)/0.85 工作距離0.4mm |
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PL L40X/0.60 工作距離3.0mm |
明、暗視場(chǎng)
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PL L60X/0.75 工作距離1.9mm |
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PL L100X/0.85 工作距離0.4mm | |||
載物臺(tái) | 機(jī)械式載物臺(tái),外形尺寸:250mmX230mm, 移動(dòng)范圍:154mmX154mm | ||
CCD接頭 | 0.5X |
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1X |
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0.5X帶分劃尺,格值0.1mm/格 | |||
攝像儀 | DV-1 Video輸出(380/520 電視線),USB輸出(42萬像素) |
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DV-2帶USB輸出 (130/200/300萬像素) |
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DV-3帶Video輸出(380/520 電視線) | |||
數(shù)碼相機(jī)接頭 | CANON(A570,A610,A620,A630,A640,A650,EF) NIKON( F) |
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